KCI등재
SCOPUS
SCIE
Improved electrical performance of solution-processed zinc oxide-based thin-film transistors with bilayer structures
저자
Oura Kazuyori (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology, Osaka, Japan) ; Wada Hideo (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology, Osaka, Japan) ; Koyama Masatoshi (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology, Osaka, Japan) ; Maemoto Toshihiko (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology, Osaka, Japan) ; Sasa Shigehiko (Nanomaterials Microdevices Research Center, Osaka Institute of Technology, Osaka, Japan)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2022
작성언어
English
주제어
등재정보
KCI등재,SCOPUS,SCIE
자료형태
학술저널
수록면
105-113(9쪽)
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제공처
A bilayer thin-film transistor (TFT) structure with ZnO and Al-doped ZnO (AZO) was fabricated using a solution process. The film thickness and sintering atmosphere of ZnO and AZO were controlled and then evaluated by measuring their electrical characteristics. By changing the sintering atmosphere, carriers attributed to oxygen vacancies in the thin film increased. Moreover, the ZnO single-layer TFT sintered in N2 exhibited good electrical characteristics. In the ZnO/AZO bilayer TFT laminated with the ZnO sintered in N2 and high-resistance AZO thin films, electrical characteristics, such as the On/Off ratio and subthreshold swing, improved compared to those of the ZnO-TFT. The On/Off ratio of the ZnO/AZO-TFT using the AZO thin film sintered in an O2 atmosphere notably improved to 3.7×105 compared to that of the ZnO-TFT (1.7×104). In addition, the subthreshold swing in the ZnO/AZO-TFT was 0.36 V/dec, while the field-effect mobility was 2.2×10−1 cm2/Vs, thereby exhibiting the best electrical characteristics among the fabricated samples. According to the grazingincidence X-ray diffraction measurement, the ZnO particle size and crystallinity of the ZnO/AZO bilayer were higher than those of the ZnO single layer. Therefore, improvement of the electrical characteristics was confirmed.
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