KCI등재
SCIE
A Compact Ultra-precision Air Bearing Stage with 3-DOF Planar Motions Using Electromagnetic Motors
저자
발행기관
학술지명
권호사항
-
발행연도
2011
작성언어
English
주제어
등재정보
KCI등재,SCIE
자료형태
학술저널
수록면
115-119(5쪽)
KCI 피인용횟수
11
제공처
We designed a novel surface motor stage supported by air bearings and driven by linear electromagnetic motors. This compact and simple planar stage is proposed for compact-sized precision machine systems, such as micro-machine tools or measurement systems requiring minimum X-Y stage height. Four single-phase linear motors with coils and iron cores are located under the base plate, and air bearings and cores with permanent magnets are attached under the moving table. The hard, non-magnetic alumina-ceramic base plate surface acts as a planar guide for the air bearings. The attractive magnetic force between the magnets and motor cores preload the air bearing to increase vertical stiffness. By simultaneously combining actuations of the motors, linear X and Y motion can be controlled, and angular motions can also be generated. A grid encoder is used to control planar motion, and the system is run by a programmable numerical controller. The thrust and attractive force were calculated using a magnetic circuit model. The designed prototype is 220 (L) × 220 (W) × 66 (H)mm3 in size with a 20 mm × 20 mm range of motion. After fabrication, basic aspects of the prototype, such as vertical stiffness and thrust force, were evaluated. Twenty nanometers of positioning resolution was obtained for the X and Y axes,and the three motions could be controlled independently.
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연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
---|---|---|---|
2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-06-23 | 학회명변경 | 영문명 : Korean Society Of Precision Engineering -> Korean Society for Precision Engineering | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2005-05-30 | 학술지명변경 | 한글명 : 한국정밀공학회 영문논문집 -> International Journal of the Korean of Precision Engineering | KCI후보 |
2005-05-30 | 학술지명변경 | 한글명 : International Journal of the Korean of Precision Engineering -> International Journal of Precision Engineering and Manufacturing외국어명 : International Journal of the Korean of Precision Engineering -> International Journal of Precision Engineering and Manufacturing | KCI후보 |
2005-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2003-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 1.38 | 0.71 | 1.08 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.92 | 0.85 | 0.583 | 0.11 |
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