표면 미세 가공 기술로 제작된 Piezoresistive 마이크로 외팔보를 이용한 바이오 센서의 제작 및 특성 = Piezoresistive Microcantilever-based Biosensor Fabricated by Surface Micromachining Technique
저자
나광호 (명지대학교 공과대학 전기공학과) ; 이남주 (명지대학교 자연과학대학 물리학과) ; 김용상 (명지대학교 공과대학 전기공학과) ; 강치중 (명지대학교 자연과학대학 물리학과)
발행기관
명지대학교 자연과학연구소(THE NATURAL SCIENCE RESEARCH INSTITUTE MYONGJI UNIVERSITY)
학술지명
권호사항
발행연도
2004
작성언어
Korean
KDC
505.000
자료형태
학술저널
수록면
12-16(5쪽)
제공처
소장기관
제작이 간단하며 비용이 저렴한 표면 미세 가공 기술을 이용하여 바이오 센서로 이용 될 piezoresistive 마이크로 외팔보를 제작하였다. 바이오 센서의 특성을 평가하기 위해서 마이크로 외팔보 한쪽면에 중착된 금박막에 금 분자와 공유결합을 하는 thiol기를 포함한 cystamine과 cystamine의 amine기와 공유결합을 하는 aldehyde기를 포함한 glutaraldehyde를 연속적으로 흘려주었다. 반응 후의 마이크로 외팔보의 휘어짐은 잘 알려진 광학적 측정 방식과 직접적인 전기적 검출이 가능한 piezoresistive 측정 방식을 사용하여 실시간으로 측정하였다.
더보기A microcantilever-based biosensor with piezoresistor has been fabricated using surface micromachining technique, which is cost effective and simplifies a fabrication procedure. To evaluate the characteristics of the cantilever, the cystamine terminated with thiol was covalently immobilized on the gold-coated side of the cantilever and glutaraldehyde that would be bonded with amine group in the cystamine was injected subsequently. This process was characterized by measuring the deflection of the cantilever in real time monitoring. Using a piezoresistive read-out and a well-known optical beam deflection method as well carried out the measurement of deflection.
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