Feasible Performance Evaluations of Phase Shifted ZVS-PWM DC-DC Power Converter with High-Frequency Transformer Link for Plasma Processing Equipment
저자
Yoshinori Ishigami ; Tetsuya Etoh ; Keiki Morimoto ; Sang Hwa Jung ; Eiji Hiraki ; Hyun Woo Lee ; Manabu Ishitobi ; Mutsuo Nakaoka
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2004
작성언어
Korean
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
379-382(4쪽)
제공처
In the semiconductor manufacturing technology as the plasma etching processing, Voltage fed-D class in-series resonant high frequency power amplifier using power MOSFET, which operates under a condition of discontinuous resonant current based soft switching, for plasma generating is introduced. This paper presents some practical and theoretical evaluation of voltage source class D phase-shifted ZVS-PWM DC-DC power converter with a high frequency<br/>
transformer link and capacitor input type DC smoothing filter,<br/>
which is designed for 50 KHz, by using IGBT power modulation. Its operating principle in a steady-state is described by using equivalent circuits, along with the experimental operation waveforms. The soft switching operating range for phase-shifted duty factor is illustrated and discussed by using a criteria value due to residual voltage across the lossless snubbing capacitors. The output power regulation vs phase shifted duty factor characteristics of this power converter are evaluated under a condition of ZVS commutation.<br/>
Index Terms<br/>
Voltage source-fed DC-DC power converter, Lossless capacitive snubbers, Phase shifted PWM, Zero voltage soft switching, High frequency transformer link, Capacitive input DC smoothing filter, Circuit soft switching operation limitation, Plasma processing applications
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