KCI등재
SCOPUS
폴리머 기판위에 형성된 나노구조제어 알루미나의 캐패시터 특성 = Capacitance Properties of Nano-Structure Controlled Alumina on Polymer Substrate
저자
정승원 ; 민형섭 ; 한정환 ; 이전국 ; Jung, Seung-Won ; Min, Hyung-Sub ; Han, Jeong-Whan ; Lee, Jeon-Kook
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학술지명
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발행연도
2007
작성언어
Korean
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KCI등재,SCOPUS,ESCI
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학술저널
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81-85(5쪽)
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Embedded capacitor technology can improve electrical perfomance and reduce assembly cost compared with traditional discrete capacitor technology. To improve the capacitance density of the $Al_2O_3$ based embedded capacitor on Cu cladded fiber reinforced plastics (FR-4), the specific surface area of the $Al_2O_3$ thin films was enlarged and their surface morphologies were controlled by anodization process parameters. From I-V characteristics, it was found that breakdown voltage and leakage current were 23 V and $1{\times}10^{-6}A/cm^2$ at 3.3 V, respectively. We have also measured C-V characteristics of $Pt/Al_2O_3/Al/Ti$ structure on CU/FR4. The capacitance density was $300nF/cm^2$ and the dielectric loss was 0.04. This nano-porous $Al_2O_3$ is a good material candidate for the embedded capacitor application for electronic products.
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