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SCOPUS
온도, 공급된 파워, 증착 시간 변수에 따른 Al/ZnO₂ 박막 입자 성장에 관한 연구 = A Study on the Dependences of Grain Growth of Al/ZnO₂ Thin Film on the Temperature, Power and Deposition Time
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2011
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Korean
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KCI등재,SCOPUS
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학술저널
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899-903(5쪽)
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Al/ZnO₂ thin films were found to have increasing growth orientations in the direction of the (002) face as the deposition time increased, and that the (200) and the (211) faces appeared anew at high temperatures. The crystal face of the thin film had an influence on deposition temperature and time, but the Al (400) face showed constant intensity regardless of the temperature of the thin film, the deposition time, the power intensity, or the flow rate.
According to scanning electron microscopy (SEM), the grain size of the thin film increased from 16 nm to 100 nm. In general, the particles of the thin film had a bi-modal shape.
Al/ZnO₂박막은 증착 시간이 증가됨 에 따라 (002)면으로 우선성장됨을 알 수 있었고, 높은 온도 박막에서는 (200)면과 (211)면이새롭게 나타났다. 박막의 결정면은 증착온도나, 시간에 영향을 주고있었지만 Al(400)면은 증착온도, 증착시간, 파워 세기, 유입개스유량과는 상관 없이 일정한 세기를 가졌다. 주사전자현미경(SEM)으로관찰한 결과 박막의 입자크기는 16에서 100 nm 크기로 변화되었다.
전체적으로 박막 입자의 모양은 크고 작은 이중형태 를 가졌다.
분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2016-09-05 | 학술지명변경 | 외국어명 : Sae Mulli(New Physics) -> New Physics: Sae Mulli | KCI등재 |
2015-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.18 | 0.18 | 0.17 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.15 | 0.14 | 0.3 | 0.1 |
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