KCI등재
스퍼터링 방법을 이용한 금속산화물 첨가 TiO<sub>2</sub> 박막 제조 및 광촉매 활성 = Preparation of Metal Oxides Added TiO<sub>2</sub> Thin Film by Sputtering and Photocatalytic Activity
저자
안호근 ( Ho-geun Ahn ) ; 이도진 ( Do-jin Lee ) ; 김기중 ( Ki-joong Kim ) ; 김용화 ( Yong-hwa Kim ) ; 정운조 ( Woon-jo Jeong ) ; 문장수 ( Jang-soo Moon )
발행기관
학술지명
한국환경기술학회지(Journal of Korean Society Environmental Technology)
권호사항
발행연도
2007
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
수록면
87-94(8쪽)
제공처
TiO<sub>2</sub> 분말에 소량의 금속산화물을 습식법으로 첨가하여 타겟을 제조하고, 스퍼터링(sputtering) 방법으로 박막을 제조하여 박막의 구조적, 광학적 특성과 에틸렌 분해에 대한 광촉매 활성을 조사하였다. 제조한 금속산화물 첨가 TiO<sub>2</sub> 박막 밴드갭은 TiO<sub>2</sub> 박막보다 약간 높게 나타났다. 제조한 박막의 표면과 단면형상의 SEM과 AFM 조사에서 균일한 박막의 성장을 확인할 수 있었고, 금속산화물 첨가 TiO<sub>2</sub> 박막의 에틸렌에 대한 광분해 활성은 반응시간의 경과에 따라 증가하였다. Cr/TiO<sub>2</sub>과 Mn/TiO<sub>2</sub> 박막의 활성은 TiO<sub>2</sub>만의 박막보다 높았으나, Fe/TiO<sub>2</sub>, Ni/TiO<sub>2</sub>과 Mo/TiO<sub>2</sub> 박막의 경우는 분해성능이 TiO<sub>2</sub>만의 박막보다 낮았다. 결과적으로, 습식법으로 소량의 금속산화물을 첨가한 분말을 이용하여 타겟을 제조하면, 균일한 금속산화물 첨가 TiO<sub>2</sub> 박막이 형성되고 에틸렌 분해에 대한 광분해 활성이 높아지는 경향이 나타나 광촉매제로 활용할 수 있음을 알았다.
더보기A small amount of metal oxides was added to TiO<sub>2</sub> powder by wet method, and thin film on substrate was prepared using their target by magnetron sputtering, respectively. Structural and optical properties and photocatalytic activity of the thin films were investigated. Band gap for the thin film of metal oxides added TiO<sub>2</sub> was a little higher than that of only TiO<sub>2</sub>. Growth of homogeneous thin film on Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> substrate was confirmed from SEM and AFM images for surface and cross-section of the thin films. Photocatalytic activity of ethylene over thin film of metal oxides added TiO<sub>2</sub> was increased with increase of reaction time. The activity for thin film of Cr/TiO<sub>2</sub> and Mn/TiO<sub>2</sub> was higher than that of only TiO<sub>2</sub>, but the result over Fe/TiO<sub>2</sub>, Ni/TiO<sub>2</sub> and Mo/TiO<sub>2</sub> was reverse. As a result, when the target was prepared using the metal oxides added TiO<sub>2</sub> powder by wet method, thin film prepared with the target was homogeneously coated on substrate, and was highly active photocatalytically.
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