KCI등재
LTCC 기판위에 MEMS 인덕터 특성 연구 = Demonstration of MEMS Inductor on the LTCC Substrate
저자
박제영 ; 차두열 ; 김성태 ; 강민석 ; 김종희 ; 장성필 ; Park, Je-Yung ; Cha, Doo-Yeol ; Kim, Sung-Tae ; Kang, Min-Suk ; Kim, Jong-Hee ; Chang, Sung-Pil
발행기관
학술지명
전기전자재료학회논문지(Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers)
권호사항
발행연도
2007
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
수록면
1049-1055(7쪽)
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1
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제공처
Lots of integration work has been done in order to miniaturize the devices for communication. To do this work, one of key work is to get miniaturized inductor with high Q factor for RF circuitry. However, it is not easy to get high Q inductor with silicon based substrate in the range of GHz. Although silicon is well known for its good electrical and mechanical characteristics, silicon has many losses due to small resistivity and high permittivity in the range of high frequency. MEMS technology is a key technology to fabricate miniaturized devices and LTCC is one of good substrate materials in the range of high frequency due to its characteristics of high resistivity and low permittivity. Therefore, we proposed and studied to fabricate and analyze the inductor on the LTCC substrate with MEMS fabrication technology as the one of solutions to overcome this problem. We succeeded in fabricating and characterizing the high Q inductor on the LTCC substrate and then compared and analyzed the results of this inductor with that on a silicon and a glass substrate. The inductor on the LTCC substrate has larger Q factor value and inductance value than that on a silicon and a glass substrate. The values of Q factor with the LTCC substrate are 12 at 3 GHz, 33 at 6 GHz, 51 at 7 GHz and the values of inductance is 1.8, 1.5, 0.6 nH in the range of 5 GHz on the silicon, glass, and LTCC substrate, respectively.
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2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2005-05-30 | 학회명변경 | 영문명 : 미등록 -> The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2001-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
1998-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
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2016 | 0.13 | 0.13 | 0.13 |
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0.14 | 0.14 | 0.247 | 0.06 |
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