Silver/Sodium 이온교환된 도파로의 폭 측정 = Width Measurement of Silver/Sodium Ion-exchanged Waveguide
저자
탁영봉 (경상대학교 공과대학 전기전자공학부(전자재료), 공학연구원)
발행기관
경상대학교 생산기술연구소(ENGINEERING RESEARCH INSTITUTE GYEONGSANG NATIONAL UNIVERSITY)
학술지명
권호사항
발행연도
2003
작성언어
Korean
KDC
560.000
자료형태
학술저널
수록면
213-216(4쪽)
제공처
소장기관
In this paper, the width of silver/sodium ion-exchanged waveguides were determined by using diffraction patterns. It is necessary for efficient coupling with an optical fiber to measure the waveguide width accurately, which also makes possible the use of an integrated optical coupler.
The reflected and the transmitted diffraction patterns of diffused strip waveguides fabricated by silver/sodium ion-exchanged were measured. For the reflected diffraction pattern, the back surface of slide glass was made rough by rubbing it or bombarded in a sand-blast cabin using aluminium oxide to eliminate the unwanted reflection from it. The diffusion mask was produced by Cr film photo mask with the width of 120pm. The waveguide widths were determined by the reflected and the transmitted diffraction patterns to be 123.7㎛ and 117.4㎛, respectively. The slight difference between them might be caused by the conditions of exposure and development for the two samples, the inaccuracy of the observed distance and point, and the deviation of the incident angle especially for the reflected diffraction pattern. However, the measured value is considered to be very accurate, approching the mask width of 120㎛.
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