SCIE
SCOPUS
KCI등재
Study of the methane flow influence in the micro‑tribology behavior of DLC coatings deposited by PECVD: a Raman analysis
저자
C?sar Daniel Rivera‑Tello ; Francisco Javier Flores‑Ruiz (CUCEI, Universidad de Guadalajara, Blvd.) ; M. Flores (University of Guadalajara) ; O. Jimenez (University of Guadalajara) ; I. Far?as ; J. Oseguera‑Pe?a
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2021
작성언어
English
주제어
KDC
530
등재정보
SCIE,SCOPUS,KCI등재
자료형태
학술저널
수록면
47-56(10쪽)
DOI식별코드
제공처
This paper presents a Raman spectroscopy study of the influence of methane flow on the micro-tribological behavior of diamond-like carbon coatings deposited with an industrial plasma-enhanced chemical vapor deposition system. Results have shown a direct relationship between the methane flow and thickness of the coatings. The analysis of the Raman spectra and deposition parameters allowed establishing the influence of H content with the methane flow, the disorder level and estimation of the sp3 fraction on the carbon coatings. The micro-tribology tests showed a strong dependence of the wear resistance and hardness with Raman parameters. The coating deposited at 72-sccm methane flow presented a thickness of 1.7 μm and a sp3 fraction of 0.33. This sp3 fraction gave rise to a hardness of 24 GPa and an excellent wear resistance of 3.3 × 10–6 mm3 N?1 mm?1 for this DLC coating. Wear tests showed a swelling in the wear profiles on this coating, which was associated with the occurrence of a re-hybridization process.
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