자기력현미경을 이용한 자성박막 특성 연구 = Study on the magnetic thin films using magnetic force microscopy
저자
윤석원 (가톨릭대학교 자연과학부)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2000
작성언어
Korean
KDC
405.000
자료형태
학술저널
수록면
5-14(10쪽)
제공처
소장기관
자기력현미경을 이용하여 CoCrTaPt 및 CoPt-20at%C 합금박막의 자기도메인 구조를 연구하였다. 자체 제작한 자기력현미경의 분해능은 0.1㎛이었으며, 실험에 사용한 박막은 Si 혹은 SiO₂ 기판에 magnetic sputtering 방법으로 증착하였다. CoCrTaPt 합금박막은 Si 기판에 증착하였을 경우 박막의 두께에 관계없이 몇 개의 그레인이 모여 하나의 자기도메인을 구성하였으며, SiO₂ 기판을 사용하면 그레인의 크기는 비슷하나 자기도메인의 크기가 더 커지는 것으로 관측되었다. CoPt-20at%C 합금박막의 경우에는 열처리 과정을 거침에 따라 표면이 거칠어지면서 자기구조가 나타나기 시작하였고, C층이 많아지면서 자기도메인의 크기가 더 커지는 것으로 관측되었다.
We have studied the magnetic domain structures of CoCrTaPt and CoPt-20at%C thin films using a home-made magnetic force microscope. The resolution of the magnetic force microscope was 0.1㎛, and the thin films used in the experiment were deposited on Si and SiO₂ by magnetic sputtering technique. In CoCrTaPt thin films several grains formed a magnetic domain independent of film thickness when the films were deposited on Si. As the films were deposited on SiO₂, the size of the magnetic domain increased although the grain size remained unchanged. In CoPt-20at%C thin films the surface of the film became rough and the magnetic structure emerged as the films were annealed. Also, the size of the magnetic domain increased as the number of C layers increased.
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