유연 안내 기구를 이용한 초정밀 단일체 1축 스테이지의 최적 설계 = Optimal Design of Monolithic Precision Stage Using Flexure Guide Mechanism
학술지명 : 산업기술연구논문집(Journal of the Research Institute of Industrial Tcechnology)
권호사항 : Vol.18 No.1 [2003]
발행연도 : 2003년
작성언어 : Korean
주제어 : Leaf spring hinge ,Flexure guide mechanism ,Actuator
KDC : 505
자료형태 : 학술저널
수록면 : 40-48(9쪽)
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소장기관 :
- 충남대학교 중앙도서관
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다국어 초록 (Multilingual Abstract)
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번역결과
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