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Theoretical and Experimental Analysis of Material Deformation by Microcontact

저자 : Rae-Hyeong Ryu ,Si-Hyung Lim ,Jay I. Jeong ,Donghoon Shin ,Siyoul Jang ,Hong Jae Yim ,Kee Sung Lee

발행기관 : 한국정밀공학회

학술지명 : International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

권호사항 : Vol.10 No.2 [2009]

발행연도 : 2009년

작성언어 : English

주제어 : Imprint ,Nano ,Contact damage ,Mold ,Substrate ,FEM

등재정보 : SCIE,KCI등재

자료형태 : 학술저널

수록면 : 111-116(6쪽)

제공처 : NDSL, DBpia

소장기관 :

영남대학교 과학도서관

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This paper reports on an investigation of contact damage induced in molds and substrate materials used in micro and nanoimprint lithography. Silicon, polydimethylsiloxane (PDMS), glass, and silicon carbide were studied. A finite element analysis using ABAQUS software was conducted to investigate the stress induced in mold and substrate materials when they come in contact with each other at a uniaxial pressure of 1 MPa. A spherical indentation experiment was conducted for a model study for various indentation loads and numbers of contact cycles. We examined the contact damage during the spherical indentation. Indentation stress-strain curves, surface views of contact damage, and mechanical properties were characterized for the mold and substrate materials.

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1. Introduction
2. Experimental Procedure
3. Conclusions
ACKNOWLEDGMENT
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신청비용	우편료(실비) + 장당복사비	기본료 + 장당복사비	기본료 6,000원~ 143,000원	기본료 6,000원~ 143,000원
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