KCI등재
마이크로 구조체의 전극 거동에 미치는 증착 박막의 효과 = Effect of thin film deposition on electrode behavior of microstructures
저자
박현식 (한경대학교)
발행기관
학술지명
한국산학기술학회논문지(Journal of Korea Academia-Industrial cooperation Society)
권호사항
발행연도
2022
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
수록면
11-16(6쪽)
KCI 피인용횟수
0
DOI식별코드
제공처
소장기관
A microstructure manufactured using a process similar to semiconductor processing is widely used in microsensors. This research studied the behavior of electrodes containing this microstructure coated with a thin film optionally and related it to the externally applied bias voltage. Additionally, the characteristics of the deposited thin film were also studied. This study showed that the longer the length of the upper electrode containing the microstructure, the lower the bias voltage for electrode adhesion. In addition, thin film deposition increased the bias voltage for electrode adhesion. Finally, it was observed that the shape of the microstructure and the thin film deposition onto it affected the microstructure's spring coefficient.
더보기반도체 공정으로 제작되는 마이크로 구조체는 마이크로 센서 분야 등에 널리 활용되고 있다. 마이크로 구조체는 한쪽 축을 중심으로 한쪽이 움지이는 구조로서 본 연구에서는 마이크로 구조체를 구성하고 있는 상부 전극과 하부 전극사이에 외부 인가 바이어스 전압에 따른 전극의 거동을 관찰하기 위하여 증착 박막의 특성 분석과 제작된 마이크로 구조체 표면에 박막 증착 전후 거동을 비교 관찰하였다. 본 연구를 위하여 마이크로 구조체를 반도체 공정으로 제작하고, 마이크로 구조체에 증착할 박막을 제작하고 박막의 특성연구를 진행하였으며, 마이크로 구조체에 박막 증착 전후에 인가 바이어스 전압에 따른 전극 거동을 측정하였다. 측정 결과로부터 마이크로 구조체의 상부 전극의 길이가 길어질수록 전극의 부착 발생 바이어스 전압이 낮아지고, 박막 증착 전 보다는 박막 증착 후에 부착 발생 전압이 증가하는 것이 관찰되었다. 이것은 마이크로 구조체의 형상과 박막 증착효과가 마이크로 구조체의 스프링 계수에 영향을 주는 것으로 해석되며 마이크로 구조체의 제어에 형상과 박막 증착으로 제어할 수 있다.
더보기분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2026 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | KCI등재 |
2017-07-01 | 평가 | 등재후보로 하락(현장점검) (기타) | KCI후보 |
2017-07-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (계속평가) | KCI등재 |
2015-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2007-08-28 | 학술지등록 | 한글명 : 한국산학기술학회논문지외국어명 : Journal of Korea Academia-Industrial cooperation Society | KCI후보 |
2007-07-06 | 학회명변경 | 영문명 : The Korean Academic Inderstrial Society -> The Korea Academia-Industrial cooperation Society | KCI후보 |
2007-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2005-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.68 | 0.68 | 0.68 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.66 | 0.61 | 0.842 | 0.23 |
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