KCI등재
대향타겟식 스퍼터링 장치의 공정 조건에 따른 SiO<sub>2</sub> 가스 차단막의 특성 = Characteristics of SiO<sub>2</sub> Gas Barrier Films as a Function of Process Conditions in Facing Target Sputtering (FTS) System
저자
배강 (대구가톨릭대학교) ; 왕태현 (대구가톨릭대학교) ; 손선영 (대구가톨릭대학교) ; 김화민 (대구가톨릭대학교) ; 홍재석 ((주) CTC) ; Bae, Kang ; Wang, Tae-Hyun ; Sohn, Sun-Young ; Kim, Hwa-Min ; Hong, Jae-Suk
발행기관
학술지명
전기전자재료학회논문지(Journal of the Korean institute of electrical and electronic material engineers)
권호사항
발행연도
2009
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
수록면
595-601(7쪽)
DOI식별코드
제공처
For the silicon oxide $(SiO_x)$ films prepared by using the facing target sputtering (FTS) apparatus that was manufactured to enhance the preciseness of the fabricated thin-film and sputtering yield rate by forming a higher-density plasma in the electrical discharge space for using it as a thin-film passivation system for flexible organic light emitting devices (FOLEDs). The deposition characteristics were investigated under various process conditions, such as array of the cathode magnets, oxygen concentration$(O_2/Ar+O_2)$ introduced during deposition, and variations of distance between two targets and working pressure. We report that the optimum conditions for our FTS apparatus for the deposition of the $SiO_x$ films are as follows: $d_{TS}\;and\;d_{TT}$ are 90mm and 120mm, respectively and the maximum deposition rate is obtained under a gas pressure of 2 mTorr with an oxygen concentration of 3.3%. Under this optimum conditions, it was found that the $SiO_x$ film was grown with a very high deposition rate of $250{\AA}$/min by rf-power of $4.4W/cm^2$, which was significantly enhanced as compared with a deposition rate (${\sim}55{\AA})$/min) of the conventional sputtering system. We also reported that the FTS system is a suitable method for the high speed and the low temperature deposition, the plasma free deposition, and the mass-production.
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