KCI등재후보
동일면상에 heater 와 감지전극을 형성한 마이크로가스센서의 제작 및 특성 = Characteristics and Fabrication of Micro - Gas Senors with Heater and Sensing Electrode on the Same Plane
저자
임준우(Jun Woo Lim) ; 이상문(Sang Mun Lee) ; 강봉휘(Bong Hwi Kang) ; 정완영(Wan Young Chung) ; 이덕동(Duk Dong Lee)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1999
작성언어
-KDC
500
등재정보
KCI등재후보
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
115-123(9쪽)
제공처
소장기관
A micro-gas sensor with heater and sensing electrode on the same plane was fabricated on phosphosilicate glass(PSG, 800nm)/Si₃N₄ (150nm) dielectric membrane. PSG film was provided by atmospheric pressure chemical vapor deposition(APCVD), and Si₃N₄ film by low pressure chemical vapor deposition(LPCVD). Total area of the fabricated device was 3.78 X 3.78mm2. The area of diaphragm was 1.5 x 1.5㎟, and that of the sensing layer was 0.24 x 0.24㎟. Finite-element simulation was employed to estimate temperature distribution for a square-shaped diaphragm. The power consumption of Pt heater was about 85mW at 350℃. Tin thin films were deposited on the silicon substrate by thermal evaporation at room temperature and 232 ℃, and tin oxide films(SnO₂) were prepared by thermal oxidation of the metallic tin films at 650℃ for 3 hours in oxygen ambient. The film analyses were carried out by SEM and XRD techniques. Effects of humidity and ambient temperature on the resistance of the sensing layer were found to be negligible. The fabricated micro-gas sensor exhibited high sensitivity to butane gas.
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