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Dissertations	학위취득을 위하여 제출된 석•박사 학위논문
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ESCI	기본 요건을 갖추었으나 피인용 영향도가 충분하지 않아 SCIE, SSCI, A&HCI에 아직 등재되지 않은 학술지
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KCI	한국연구재단에서 운영하는 인용 색인 및 데이터 베이스

Min-Max 알고리즘을 이용한 피에조 구동형 스테이지의 최적설계 및 성능평가

저자 : 최기봉(Kee-Bong Choi) ,한창수(Chang Soo Han)

발행기관 : Korean Society for Precision Engineering

학술지명 : 한국정밀공학회지(Journal of the Korean Society for Precision Engineering)

권호사항 : Vol.22 No.9 [2005]

발행연도 : 2005년

작성언어 : Korean

주제어 : Flexure hinge(플렉셔 힌지) ,Round notch(원형 노치) ,Nano positioning stage(나노 위치결정용 스테이지) ,Min-Max algorithm(Min-Max 알고리즘)

등재정보 : KCI등재,SCOPUS

자료형태 : 학술저널

발행기관 URL : http://www.kspe.or.kr/

수록면 : 130-136(7쪽)

제공처 : NDSL, DBpia

소장기관 :

영남대학교 과학도서관

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This paper presents an optimal design and the performance evaluation of two-axis nano positioning stage with round notched flexure hinges. A flexure hinge mechanism with round notched flexure hinges is to guide the linear motions of a moving plate in the nano positioning stage. A Min-Max algorithm is applied to the design of the flexure hinge mechanism for nano positioning stage. In the design process, the structure of the flexure hinge mechanism is fixed, then the radius of a round hole and the width of two round holes are chosen as design variables, and finally the design variables are calculated by the Min-Max algorithm. The machined flexure hinge mechanism, stack type PZTs for actuation and capacitance type displacement sensors for position measurement are assembled into the nano positioning stage. The experimental results of the manufactured nano positioning stage show the first modal resonance frequency of 197 ㎐, the operating range of 40 ㎛, and the resolution of 3 ㎚.

번역결과

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ABSTRACT
1. 서론
2. 나노 위치결정용 2축 스테이지
3. 최적설계
4. 성능실험
5. 결론
참고문헌

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