KCI등재
유해가스 처리 효율 향상을 위한 스크러버용 소형 냉각모듈 개발에 대한 연구
저자
발행기관
학술지명
대한환경공학회지(Journal of Korean Society of Environmental Engineers)
권호사항
발행연도
2021
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
110-116(7쪽)
KCI 피인용횟수
0
제공처
목적: 제조업 기반의 기업들은 저전력형 대기유해가스 처리장치가 필요한 상황에 직면해 있으나, 경제성장의 둔화로 스크러버의 용량을 확대하는 새로운 유해가스 처리장치의 교체비용에 대한 부담으로 기 설치된 스크러버에 탈부착이 가능한 부품형태의 처리효율 증대 시스템 보조 장치가 필요한 실정이다. 특히 반도체공정에서 배출되는 유기 및 무기 잔료 유해가스처리를 위해 다단 스크러버에서 유해가스와 수증기가 배가된 처리 용량을 줄이고, 스크러버 효율을 증가시킬 수 있는 기술이 요구되어 진다.
방법: 본 연구에서는 반도체 제조공정의 과용량 유해가스로부터 스크러버 처리능력 한계를 해결하기 위한 열전소자를 이용한 냉각 블록장치를 개발하고자 한다. 이 냉각 블록장치는 1차 스크러버 배기단에서 배출되는 수증기 온도를 이슬점까지 냉각시켜 고상이나 액상 파우더 형태로 액화시키는 원리로 다단 스크러버로 넘어가는 액상 유입물량을 줄여서 스크러버 처리효율을 향상시키는 장치이다.
결과 및 토의 : 냉각손실 및 여유율을 고려한 열전소자 냉각용량 설계계산은 여유율 1.5를 고려한 수증기 밀도를 50%로 낮추기 위해서 여유율 포함 약 9,300 W의 peltier 열전소자 냉각용량 전력이 필요한 것으로 분석되어 이에 맞는 냉각모듈을 설계하였다.
결론: 기초 냉각모듈 설계인자에 대한 결과를 토대로 실제 반도체공장 LCD 모니터 공정 후에 배출되는 배기가스에 적용되는 스크러버 배기 환경조건에서 절대습도는 약 5.8 g/kg 감소했고, 온도 하강은 약 9.5℃ 하강한 결과를 보여 배기가스 처리 시스템에서 1차 스크러버로 들어오는 수분의 양이 많아져 2차 스크러버에서 유해가스 처리효율이 떨어지는 문제를 해결할 수 있는 가능성을 보였다.
Objectives : Manufacturing-based production facilities are required to install dust collection devices for air pollution prevention facilities. In particular, manufacturing-based companies need low-power hazardous gas treatment devices. However, due to the slowing economic growth, the cost of replacing new hazardous gas treatment devices is increasing, and new products in the form of parts that can be attached to scrubbers that are already installed are urgently needed.
Methods : To deal with residual gas from organic and inorganic compounds used in semiconductor manufacturing processes, the concentration of air pollutants emitted through the process of removing harmful substances from the primary scrubber and re-treatment of gases emitted from the secondary scrubber is further lowered.
Results and Discussion : In this study, a cooling block device which is a hazardous gas treatment part is developed to solve the limitation of scrubber processing capacity from overcapacity harmful gases such as strong toxicity, corrosivity, combustion, and environmental pollution in semiconductor manufacturing process.
Conclusions : In the design factors and performance survey of cooling module using thermoelectric element, it was calculated that the cooling capacity of the peltier thermoelectric element with a margin of 9,300 W was required. Based on these results, the absolute humidity decreased by 5.8 g/㎏ and the temperature decreased by 9.5 degrees, showing the possibility of solving the problem of the decrease in the effectiveness of hazardous gas treatment of secondary scrubber due to increased moisture.
분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
---|---|---|---|
2027 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2021-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | KCI등재 |
2018-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (계속평가) | KCI등재 |
2017-12-01 | 평가 | 등재후보로 하락 (계속평가) | KCI후보 |
2013-01-01 | 평가 | 등재 1차 FAIL (등재유지) | KCI등재 |
2010-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2001-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
1998-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.52 | 0.52 | 0.45 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.43 | 0.42 | 0.604 | 0.13 |
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