반도체 제조장비용 로봇 제어 시스템의 성능 평가 및 개선 = Evaluation and Improvement of the Performace of the Robot Control System for Semiconductor Manufacturing Equipment
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발행기관
학술지명
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발행연도
2000
작성언어
Korean
KDC
552
자료형태
학술저널
수록면
61-65(5쪽)
제공처
본 과제는 장비 제조업체와 반도체 제조업체들에서 자용되는 4축 로봇을 대상으로 장기간 사용 중 발생되어 보고된 기구적인 문제점들 및 컨트롤러와 모터 드라이버들에서의 전기적인 문제점들을 분석하고 그 개선책을 유도함으로써 장비제조의 일관성 및 견실성을 확보하고 제조된 장비의 현장 생산성을 높이는데 그 목적이 있다.
이를 위해 본 과제에서는 실제 웨이퍼를 반송시키는 공정에 사용되는 4축 로봇 시스템을 대상으로 기구적인 강성, 진동, 반복정밀성 및 컨트롤러와 드라이버에 대한 전기적인 신호 테스트, 다양한 게인 설정 등을 수행하여 보고된 문제점들을 확인하고 현 상태에서 가장 경제적인 개선책을 제시하고자 한다.
지금까지 로봇 제어시스템의 기구적인 반복 정밀성을 조사하였으며, 컨트롤러 및 드라이버의 성능 평가와 제어기의 이득평가를 위해 램프형태의 속도명령 추종성 및 계단입력에 대한 응답을 테스트하였다. 현재까지의 결과로는 기존 시스템에서의 큰 결함을 발견할 수 없었는데 그 이유로는 그간 제어기 및 드라이버 제조회사에 의해 몇번의 성능개선(upgrade)이 있었기 때문인 것으로 사료된다.
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