450mm 웨이퍼 생산시스템에서의 실시간 스케줄링 구축방법 = Development of Real-Time Scheduling Methods in 450mm Wafer Production System
저자
이현(Hyun Lee) ; 허선(Sun Hur) ; 박유진(Eugene Park) ; 이건우(Gunwoo Lee)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2010
작성언어
-주제어
KDC
530
등재정보
01
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
1-7(7쪽)
제공처
In 450mm wafers production environment for next-generation semiconductor production, one of the most significant
features is the adoption of full automation to the whole manufacturing processes involved. The full automation
system applied to the whole manufacturing processes will prevent the workers from intervening the manufacturing processes as much as possible and increase the importance of each individual wafer noticeably, and thus require a more robust scheduling system for entire semiconductor manufacturing processes. The scheduling system for 450mm wafers production also should be capable of monitoring the status of each individual wafer and collecting useful fab data in real time. Based on data (or information) gathered in each process, the real-time scheduling system function efficiently to control the whole semiconductor manufacturing processes. In this study, we first carry out preliminary survey on the system requirements and the necessary functions for constructing the real time scheduling system with considering the changes from 300mm wafer production environment to 450mm wafer production environment, and then propose the scheduler system architectures for the cluster-type production processes which are the general in 450mm wafer production environment for the efficient production scheduling. The system architectures proposed in this study involve the modules for real-time scheduling, the modules for supporting the cluster-type production, the modules for finding optimal schedules, and so on. Also, we provide the specifications of the key required functions and capabilities of the modules and the relationship among the modules proposed.
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