Steering effect in the early stage of thin film growth = 초기 박막 성장시 steering effect에 관한 연구
저자
발행기관
숙명여자대학교 자연과학연구소(The Research Institute of Natural Sciences Sookmyung Women's University )
학술지명
자연과학논문집(Journal of Natural Sciences Sookmyung Women's University)
권호사항
발행연도
2000
작성언어
English
자료형태
학술저널
수록면
5-8(4쪽)
제공처
소장기관
During deposition of thin films, incident atom is refracted by the attraction of the pre-existing atoms on a substrate. For grazing incidence of Cu on Cu(001), such a dynamic effect, so-called steering effect, makes the shape of growing islands for the homoepitaxial growth of Cu on Cu(001), to be rectangular, different from the symmetry of the substrate1). We investigated the steering effect on the growth of islands by simulation methods. Kinetic behavior of the adatoms and the clusters on a substrate was described by kinetic Monte Carlo simulation, while the deposition near glancing angle by molecular dynamic simulation to mimic the refraction of incoming atoms. We investigated the steering effect on the growth behavior of Cu/Cu(100) in an atomic scale, and examined whether aforementioned experimental result could be reproduced in our simulation.
더보기박막 성장시 입사 원자는 기판에 이미 존재하는 원자에 의한 인력에 의해 궤적이 휘어지게 되며 이를 steering effect라 한다. Cu(001) 표면 위에 구리 원자를 표면에 거의 수평하게 입사하면 표면에 도착한 구리 원자가 만드는 island는 기판의 대칭성과는 다른 직사각형을 띠게 된다. 본 연구는 컴퓨터 흉내내기 방법으로 steering effect를 모사하였다. 증착과정은 molecular dynamics simulation을 사용하였고 흡착된 원자의 동력학적 거동은 kinetic Monte Carlo simulation응 이용하였다. 이를 통하여 원자 scale에서 steering effect가 박막성장에 미치는 영향을 살펴보았다. 특히 위에 언급한 직사각형 모양의 island 형성이 컴퓨터 흉내내기 방법에 의해 재현되는지 확인하였다.
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