FMM(fine metal mask)의 결정학적 특성분석을 통한 신뢰성 검증
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발행연도
2021
작성언어
Korean
자료형태
학술저널
수록면
43-43(1쪽)
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FMM(Fine Metal Mask)은 RGB 방식 OLED 디스플레이에서 발광체인 유기물을 기판에 증착할 때 사용하는 마스크(mask)로서, 증착할 발광유기물이 마스크를 통과해 기판 위의 원하는 위치에 증착되도록 유도하는 역할을 한다.
디스플레이의 해상도를 나타내는 척도 중 하나인 PPI(Pixel Per Inch)향상은 RGB화소를 형성하기 위한 발광층 증착 과정에서 사용되는 FMM 제품에 의해 직접적인 제약을 받게 된다. 이에 따라 FMM 제품에 대한 기술개발이 진행되며 다양한 신뢰성 향상 및 검증이 요구되고 있다.
본 논문에서는 조건을 달리한 고온고습시험 과정에서의 FMM샘플의 미세구조, 결정학적 특성을 비교 분석하였다. 전자후방회절산란(EBSD)을 이용하여 고온ㆍ고습 환경에서 FMM의 결정배향/크기변화를 분석하였고, EBSD 분석이 원활히 이루어질 수 있도록 하는 전처리과정에 대해 소개하고자 한다.
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