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LIGA - like 공정으로 제작된 마이크로 터빈의 유한 요소 해석 = Sensor Materials , Processes and Others ; The Finite Element Analysis for a Micro Turbine Fabricated by LIGA - like Process
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2000
작성언어
-KDC
500
등재정보
KCI등재후보
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
380-388(9쪽)
제공처
소장기관
The finite element analysis of a micro turbine was made to investigate safety margin of its operating condition for the high aspect ratio nickel micro turbine blades fabricated by conventional LIGA-like method. From our study, we found that the fabricated turbine could not exceed its yield strength even if the pressure difference between inlet and outlet of turbine blade was about 44kPa, and the correlation of friction coefficient and the maximum stress, caused by contact friction between outer diameter of shaft and inner diameter of turbine blade, was somewhat reciprocal. The maximum stress was decreased with the increasing contact friction, when turbine blade was in its state of rotation. By the results of our study, we conclude that it is possible to fabricate metal micro turbine more easily than surface micromachining technology and to operate with no risk of metal structure`s damage, which is caused by yield strength, if the operating condition with the design of micro turbine itself are optimized. It is useful to adopt other applications which have the contact problems between a moving part and the faced one in micro structures.
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