멤브레인구조를 갖는 다공질 실리콘 센서의 에탄올 가스에 대한 식별성 = Sensitivity of porous silicon gas sensors with membrane structure for ethanol vapor
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2002
작성언어
Korean
KDC
530.000
자료형태
학술저널
수록면
33-37(5쪽)
제공처
에탄올 (혹은 알콜) 가스 농도를 측정하기 위해 다공질 실리콘 층을 이용한 멤브레인 알콜 센서를 제조하였다. 에탄올은 실리콘 웨이퍼에 대해 침투성이 강하여 수용액 내에서 실리콘 웨이퍼를 가공할 때 반응을 촉진시키는 물질로서 자주 사용된다. 본 연구에서는 25%의 불화수소용액에서 만든 다공질 실리콘 층을 알코올 감지막으로 한 알코올센서를 제작하여 0%에서 0.5%의 알코올 농도범위에 대해 감지 특성을 측정하였다. 그 결과, 알코올 농도가 증가할 때 다공질 실리콘 층의 전기 전도가 증가하게 되어 측정된 전기저항은 알콜농도에 반비례하는 관계가 관측되었다. 응답 특성은 상용화가 가능할 정도로 양호한 응답속도 및 선형성을 보였다.
Porous silicon gas sensors with membrane structure are fabricated to measure vaporous ethanol (called alcohol) concentration. Since ethanol is very strongly permeable into the silicon wafer, it is often used to aid chemical reaction when the silicon wafer is reacted under some aqueous solution. In this work, sensing properties were measured for the alcohol concentration from zero to 0.5 percent with the porous silicon layer formed in 25% HF solution. As the result, the measured resistance was observed to be inversely related to alcohol concentration due to the increase of the electrical conductivity by adsorption into porous silicon surface. The sensors showed good response time and linearity which they can be probably commercialized.
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