화학기상증착법으로 합성된 다층 그래핀의 마찰 특성
저자
김광섭(Kwang-Seop Kim) ; 이희정(Hee-Jung Lee) ; 이창구(Changgu Lee) ; 이승기(Seoung-Ki Lee) ; 장호욱(Ho-Uk Jang) ; 안종현(Jong-Hyun Ahn) ; 김재현(Jae-Hyun Kim) ; 이학주(Hak-Joo Lee)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2011
작성언어
Korean
주제어
KDC
550
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
191-193(3쪽)
제공처
본 연구에서는 CVD 방법으로 성장된 그래핀의 마찰 특성을 알아보기 위해 마이크로트라이보미터를 이용하여 마찰력을 측정하였으며, SiO₂ 표면에서 측정된 마찰력과 비교하였다. 실험 결과, SiO₂ 기판 위에 코팅된 그래핀은 마찰 저감 효과가 매우 뛰어난 것으로 확인되었다. CVD 방법으로 성장된 그래핀을 MEMS와 NEMS에 적용하여 윤활막으로 사용할 경우 접촉면 사이의 마찰력을 효과적으로 감소시킬 수 있을 거라 예상된다.
더보기Surface forces, such as adhesion and friction forces, are crucial in the fabrication and operation of microelectromechanical systems (MEMS) and nanoelectromechanical systems (NEMS) as well as in the nanofabrication processes such as nanoimprint lithography and transfer assembly process. Various lubricant materials, patterns, and surface treatment processes have been developed for control of the interfacial forces and lubrication between contacting surfaces. Graphite is a traditional good solid lubricant because of its lamella structure with low shearing resistance. Graphene may be one of good candidates for lubrication on the micro/nanoscale because graphene is atomically thin and strong, and is stacked in lamella structure similar to graphite. In this study, frictional properties of graphene synthesized by chemical vapor deposition (CVD) were investigated. The results show that the graphene is so effective to reduce friction.
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