KCI등재후보
실리콘 마이크로머시닝을 이용한 플래퍼 - 노즐 밸브의 제작 및 특성 실험 = Flapper - nozzle Valve Fabrication Using Silicon Micromachining and Flow Characterization
저자
권영신 ; 김태현 ; 조동일 ( Young Shin Kwon ; Tae Hyun Kim ; Dong Il Cho )
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1997
작성언어
-KDC
500
등재정보
KCI등재후보
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
72-80(9쪽)
제공처
소장기관
One of the concerns in micro fluidic valve designs is that of reverse direction leakage. This paper designs and fabricates a new fluidic valve to achieve zero leakage. The design uses flapper and nozzle elements. In the forward direction the working fluid pushes the flapper upward to allow flow. In the reverse direction, the flapper pushes against the orifice seat, and thus, no flow can be generated, unless the flapper or nozzle element breaks. The nozzle element fabrication involves fabricating an orifice by wet etching of (100) wafer. The flapper element fabrication involves 20㎛ deep patterning of the negative image of the flapper, followed by wet etching from backside. Flow experiments were conducted with DI water as the working fluid, and the results are compared to analytical predictions. The results show that the developed flapper-nozzle valve achieves a true diodic flow characteristic.
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