바이오 셀 및 마이크로 부품 handling을 위한 pneumatic line을 갖는 in-plane형 마이크로 압전 그리퍼 제조 및 특성 = Fabrication and Characteristics of In-Plane Type Micro Piezoelectric Micro Grippers with Pneumatic Lines for Biological Cells and Micro Parts Handling
저자
박준식(J. S. Park) ; 박광범(K. B. Park) ; 신규식(K. S. Shin) ; 문찬우(C. W. Moon)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2006
작성언어
Korean
주제어
KDC
550
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
501-502(2쪽)
제공처
In-plane type micro piezoelectric micro grippers with pneumatic lines for manipulation biological cells and micro parts were designed, fabricated, and characterized. Micro grippers were fabricated through the final micro-sanding process after wafer level bonding between the etched 4" Si wafer with pneumatic channels and 4" glass wafer. Displacements between two jaws of fabricated micro grippers were linearly increased with applying voltages to piezoelectric actuator. In the case of applying 80 V, the displacement between two jaws was 160 ㎛. Using fabricated micro grippers, manipulation tests for biological cell and micro parts with the sizes less than 100 ㎛ are in process.
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