SECS 통신 프로토콜의 구현 = A Component Composition Technique for SECS Communication Protocol
저자
오삼권 (호서대학교 )
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2000
작성언어
Korean
KDC
552
자료형태
학술저널
수록면
1-8(8쪽)
제공처
SECS(SEMI Equipment Communication Standard)프로토콜이란 반도체 제조 공정에서 사용되는 장비간의 통신 규약을 말한다. SECS 프로토콜은 크게 "메시지 전송" 부분과 "메시지 내용" 부분으로 구성된다. SECS Ⅰ표준과 HSMS(High-speed SECS Message Service)표준은 프로토콜의 "메시지 전송" 부분으로서, 주로 테이터가 전송되는 방법을 규정하며,SECS Ⅰ표준은 RS-232C 프로토콜을 HSMS 표준은 TCP/IP 프로토콜을 사용한다. SECS Ⅱ 표준은 프로토콜의 '메시지 내용" 부분으로서, 전송될 데이터의 내용과 형식을 규정한다. SECS Ⅱ 표준에서 정의한 모든 메시지는 하나 이상의 메시지 전송 규정에 따르며, 이러한 메시지 전송 규정을 하나의 트랜잭션으로 관리한다. 그리고 이러한 트랜잭션의 조합으로 반도체 제조 공정을 제어하고 관리한다. GEM 표준은 반도체 제조 공정을 제어하고 관리하기 위한 트랜잭션의 조합을 정의한다. 본 논문에서는SECS 프로토콜을 통한 반도체 제조 공정 관리 시스템의 프로토콜을 통한 반도체 제조 공정관리 시스템의 프로토콜 표준별 기능 요구사항을 분석하고, 각 표준의 객체 지향적 구현방식을 기술한다.
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