Polymide系 濕度센서의 容量特性에 대한 實驗的 考察

국문 초록 (Abstract)

感濕物質로 polyinide를 사용하여 含濕狀態에 따른 이 感濕薄膜의 誘電率變化로부터 相對濕度를 檢出할 수 있는 濕度센서를 製作하여 그 特性을 살펴 보았다. 素子는 IC 製造技術의 適用可能性을 檢討해 보기 위하여 Si 基板上에 設計하여 製作하였다. 實測結果를 解析하기 위해 複合誘電體의 誘電率에 대한 Looyenga 方程式과 固體 內部로의 蒸氣吸收에 대한 Dubinin 方程式을 組合하여 適用해 본 結果 理論値와 實測値가 상당히 잘 一致하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

The design of a relative humidity sensor is studied in which the principle of operation is based on the change of dielectric constant of a thin film of polyimide. The design of the sensor is established on the Si substrate in such a way that it would be suitable for an integrated-circuit type of fabrication. The studies have shown that the experimental data are described well by the use of Looyenga equation for dielectric constant behavior of the heterogeneous dielectrics coupled with the Dubinin equation to describe the absorption of vapor as a function of relative humidity.