KCI등재후보
개방형 우물 구조를 이용한 마이크로머신형 pH 센서 = Micromachined pH Sensor Using Open Well Structures
저자
김흥락 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀) ; 김영덕 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀) ; 정우철 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀) ; 김광일 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀) ; 김동수 (포항산업과학연구원 설비자동화연구센터 센서계측연구팀)
발행기관
학술지명
한국비파괴검사학회지(JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY FOR NONDESTRUCTIVE TESTING)
권호사항
발행연도
2002
작성언어
Korean
주제어
KDC
500.000
등재정보
KCI등재후보,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
347-353(7쪽)
KCI 피인용횟수
0
제공처
수용액에 포함된 수소이온(H^+)의 농도를 측정하는 유리 전극형 수소이온 농도(pH) 센서의 기본 구조를 bulk micromachining 기술로 구현하여 소형의 pH센서를 제작하였다. 박막 증착이 가능한 경사 식각으로 개방된 2개의 기본 구조물을 형성하고, 일정 전위를 유지하기위한 기준전극은 식각된 구조물 경사면에 박막형 Ag/Agcl으로 확보하였다. H^+과 교환반응으로 전위를 발생시키는 감응부는 Na 20%이상 포함된 glass로 100㎛ 내외로 미세 연마하여 기본 구조물에 접합하여 완성하였다. 또한 외부 용액과 기준 용액의 혼합을 방지하면서 전류 도통 역할을 하는 액간 접촉부는 50㎛ × 50㎛ 크기의 Si 이방성 식각 부분에 한천을 삽입하고 난 다음 기존의 구조물에 접합하여 형성하였다. 각 구조물을 완성한 다음 2M 농도의 KCl 기준 용액을 구조물에 채우고, 상온 에폭시로 센서 구조물을 밀봉하여 센서를 완성하였다. 제작된 pH센서들은 표준 pH 용액에 대하여 약 90mV/pH의 전위값이 측정되었다.
A structure of a glass electrode-type pH sensor for measuring any concentration of H^+ in an aqueous solution was embodies with bulk micromachining technology. Two open well structure were formed, and a reference electrode was secured by the Ag/AgCl thin film in the sloped side of the etched structure. A sensitive membrane of an indicator electrode for generationg a potential by an exchange reaction to H^+ was made with a glass containing Na 20% or more finely so that its thickness might be 100㎛ or so, and then it was bonded to one pyramidal structure. A liquid junction for a current path was formed by filling an agar in the anisotropically etched part of the Si wafer, which had a size of 50㎛ × 50㎛, and then bonded it to the other. after complete fabrication of each part, it was filled qith a 2M KCl reference solution and encapsulated the sesor structure with a cold epoxy. The potential value of fabricated pH sensor was about 90mV/pH in the standard pH solutions.
분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
---|---|---|---|
2026 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | KCI등재 |
2017-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (계속평가) | KCI등재 |
2013-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2010-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2003-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2001-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.36 | 0.36 | 0.27 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.21 | 0.19 | 0.467 | 0.14 |
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