KCI등재후보
저주파수 및 저입력전압용 박막형 다중접합 열전변환기 = Thin Film Multijunction Thermal Converter for Low Input Voltage with Low Frequency
저주파수의 저전압용 크로멜-알루멜 다중접합 열전변환기를 개발하고자 NiCr 히터의 두께를400 nm, 600 nm 및 800 nm로 변화시켰다. 40 Hz∼10 kHz의 직류 역방향 주파수 범위로 0.5 V의 교류 실효전압을 열전변환기에 인가시켰을 때 히터의 두께가 400 nm인 열전변환기가 ±0.51∼±1.69 ppm 범위의 열전효과에 의한 교류-직류 전압 변환오차를 나타내었고, 열전효과 및 주파수에 의한 교류-직류 변환오차는 40 Hz∼l MHz의 주파수 범위에서 ±40∼±115 ppm 범위를 나타내어, 저주파수의 저전압용으로 사용할 수 있었다.
NiCr-heaters with three different thicknesses ranging from 400 nm to 800 nm were fabricated and their characteristics were compared for the purpose of developing a chromel-alumel multijunction thermal converter for low input voltage with low frequency. The thermoelectric effect-induced AC-DC voltage transfer difference of the thermal converter with a built-in NiCr-heater of 400 nm-thickness was ±0.51∼±1.69 ppm in the DC reversing frequency of 40 Hz∼10 kHz with appling 0.5 V_rms and the difference was increased to ±40∼±115 ppm in the frequency of 40 Hz~l MHz, when both thermoelectric effects and frequency effects were considered, showing the thermal converter would be suitable for the low input voltage application with low frequency.
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