KCI우수등재
SCOPUS
10-10 torr까지의 초고진공 표준 확립
저자
홍승수(S. S. Hong) ; 임재영(J. Y. Lim) ; 박재홍(J. H. Park) ; 신용현(Y. H. Shin) ; 이철로(C. R. Lee) ; 정광화(K. H. Chung)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1993
작성언어
Korean
등재정보
KCI우수등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
139-144(6쪽)
제공처
동적교정방법을 이용하여 10^(-7)~10^(-10)torr 영역에서 교정 가능한 초고진공 표준기를 제작하였다. 10^(-6)~10^(-9)torr L/s 영역의 극미세 유량은 고진공 표준기에 porous plug를 연결하여 발생 제어시켰으며 일정한 배기속도를 유지함이 알려져 있는 refrigerator type cryopump를 이용하여 3×10^(-11)torr의 base pressure를 얻을 수 있었다. 이 초고진공 표준기를 이용하여 두 개의 extractor gauge와 자체 제작한 nude 이온게이지들을 교정하고 그 직선성 및 재현도를 살펴보았다.
더보기The dynamic calibration system which can calibrate the ultrahigh vacuum pressure down to 10^(-10) torr has been fabricated. The production and control of minute flow of 10^(-6)~10^(-9)torr L/s range is done by a porous plug connected to the high vacuum standards system. The base pressure of the UHV standards system down to 10^(-11) torr range was obtained by refrigerator type cryopump, whose pumping speed is known to be constant. By using the UHV standards system, 2 extractor gauges and 1 nude ion gauge were calibrated and their linearities and scatterings were studied.
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