KCI등재
SCIE
Design and Positioning Control of a Flexure-Based Nano-positioning Stage Driven by Halbach Array Voice Coil Actuator
저자
Chi Zhang (Chinese Academy of Sciences) ; Xiaolu Huang (Chinese Academy of Sciences) ; Miao Yang (Chinese Academy of Sciences) ; Si-Lu Chen (Chinese Academy of Sciences) ; Jinhua Chen (Chinese Academy of Sciences) ; Guilin Yang (Chinese Academy of Sciences)
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2022
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English
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KCI등재,SCIE
자료형태
학술저널
수록면
281-290(10쪽)
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A long-stroke nano-positioning stage driven by voice coil actuator (VCA) and supported by flexure guide is designed in this paper. The Halbach permanent magnet array is implemented in the VCA to improve the air-gap flux density with the magnetic concentration effect. The air-gap magnetic fi eld is modeled with an equivalent magnetic structure and verified by finite element analysis. The proposed equivalent magnetic structure reduces the number of boundary condition equations and hence simplifies the analysis procedure. Besides, a novel spring-damping tuning method is proposed based on the equivalent dynamic model of the closed-loop system. This tuning method regards P control and D control as a virtual spring and a virtual damper. The controller parameters are tuned in an intuitive way. Experimental results show that the positioning stage is capable of achieving a resolution of 40 nm within a stroke of 0.8 mm with high repeatability. The spring-damping tuning method ensures better control performance compared to Ziegler Nichols (Z–N) tuning method where overshoot and settling time are decreased.
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연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-06-23 | 학회명변경 | 영문명 : Korean Society Of Precision Engineering -> Korean Society for Precision Engineering | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2005-05-30 | 학술지명변경 | 한글명 : 한국정밀공학회 영문논문집 -> International Journal of the Korean of Precision Engineering | KCI후보 |
2005-05-30 | 학술지명변경 | 한글명 : International Journal of the Korean of Precision Engineering -> International Journal of Precision Engineering and Manufacturing외국어명 : International Journal of the Korean of Precision Engineering -> International Journal of Precision Engineering and Manufacturing | KCI후보 |
2005-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2003-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 1.38 | 0.71 | 1.08 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.92 | 0.85 | 0.583 | 0.11 |
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