KCI등재
반도체 플라즈마 증착공정장비에서의 효율적인 장비 운영 알고리즘에 관한 연구 = A Study on Optimal Operation Algorithm in Semiconductor Plasma Deposition Equipment
저자
발행기관
학술지명
한국생산관리학회지(Journal of the Korean Production and Operations Management Society)
권호사항
발행연도
2013
작성언어
-주제어
KDC
325
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
133-147(15쪽)
KCI 피인용횟수
3
DOI식별코드
제공처
Recently, implementation of full automation in semiconductor manufacturing system almost precludes workers from intervening in fabrication processes because the environment of semiconductor manufacturing is rapidly evolving. Generally, various problems such as bottleneck and delay of transfer frequently occur unless the proper operation and control of the equipment is done because semiconductor products are highly dependent on the performance of the manufacturing equipment. Thus, it is very important to manage manufacturing equipment effectively and improve or develop useful operation methods continuously since these problems have a hugh impact on not only semiconductor throughput but manufacturing cost. In this study, in order to enhance throughput of cluster tool-type plasma deposition equipment, we propose three heuristic algorithms which find optimal operation condition with reflecting the mechanical and operational characteristics of the plasma deposition equipment as well as restrictions on operations or processes. It is shown that, out of three heuristic algorithms proposed, the genetic algorithm provides the most favorable equipment operation condition which minimize the cycle time compared to the other algorithms. Also, the algorithms developed in this study can be used as a very critical module of equipment scheduler for the nextgeneration wafer production system.
더보기현재 반도체 제조환경이 다양한 형태로 신속하게 진화됨에 따라 공정의 완전자동화가 이루어짐으로 인해 작업자가 공정에 개입하는 것이 불필요해지고 있다. 일반적으로 생산 장비의 성능에 의존적인 반도체 제품 생산기업에서는 병목현상이나 반송시간 지연 등과 같은 여러 문제들을 효과적으로 해결하기 위한 다양한 운영․관리방법들을 개발하여 적용하고 있다. 특히 이러한 문제들은 반도체 라인의 생산성에 매우 큰 영향을 미칠 뿐만 아니라 제조비용을 막대하게 증가시키므로 장비를 효율적으로 운영․관리하고 꾸준히 개선하는 활동은 매우 중요하다. 따라서 본 연구에서는 대표적인 클러스터 툴 형태의 반도체 공정장비인 플라즈마 증착공정장비의 기계적 특성과 운영 또는 공정상의 제약들을 반영하여 생산성을 향상시키기 위한 세 가지 운영 알고리즘을 제시하고 이들의 성능을 평가하고자 한다. 본 연구에서 제시된 세 가지 운영 알고리즘 중에서, 유전자 알고리즘이 클러스터 툴 형태의 플라즈마 증착공정장비의 생산 사이클 타임 최소화 측면에서 가장 우수한 성능을 보여줌을 알 수 있었다. 이러한 효율적인 운영 알고리즘은 차세대 450mm 반도체 웨이퍼 생산시스템의 장비 스케줄러 운영 모듈로써 사용될 수 있다.
더보기분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
---|---|---|---|
2026 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | KCI등재 |
2017-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (계속평가) | KCI등재 |
2013-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2010-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2005-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
2004-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 2.27 | 2.27 | 1.78 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
1.58 | 1.39 | 0.993 | 0.77 |
서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)