약한 외부자장에 의한 유도결합형 플라즈마에서의 Helicon wave발생에 관한 연구 = A study on the helicon wave generation in an inductively coupled plasma by low external B-field
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발행연도
2001
작성언어
Korean
KDC
405
자료형태
학술저널
수록면
65-71(7쪽)
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본 연구에서는 대면적 금속반응기에 I3.56MHz RF 전력을 인가하여 ICP(Inductively Coupled Plasma)를 발생하고, 외부에 약한 자기장(B<70G)을 인가하였을 때 플라즈마 내부에서 helicon wave의 전파현상을 관찰하였다. 기존의 ICP에 사용되는 안테나와 달리 직경이 서로 다른 두 개의 1turn 안테나를 직렬연결하여 안테나의 내부와 외부에 흐르는 전류의 방향을 반대가 되도록 하였다. 안테나에 의해 유도되는 자기장의 시간에 따른 변화량( ∂B/ ∂t)을 자기탐침을 이용하여 측정하였으며 유도되는 자기장의 θ방향성분을 측정하여 비대칭성을 갖는 m =1 mode임을 확인하였다. 발생된 플라즈마의 밀도는 Langmuir탐침을 이용하여 측정하였고, 측정된 밀도는 2.4 X 10^(10)cm^(-3) ~ 2.25 X 10^(11)cm^(-3) 이었다. 측정한 밀도와 외부에 주어진 자기장을 dispersion relation에 대입하여 계산된 wave number와 자기탐침을 이용하여 측정한 wave number를 비교하여 전파된 wave가 helicon wave 와 일치함을 확인하였다.
더보기This study was on the helicon wave propagation in an ICP(Inductively Coupled Plasma), which was generated by I3.56MHz RF power in a large area metal chamber with low external B-field(B<70G). Unlike a usual antenna for ICP, two different diameter I-turn antenna was connected in serial to opposing a current flowing the inner and the outer
antenna. Time dependent B-Field( ∂B/ ∂t ), induced by the antenna was measured by a magnetic probe. It was confirmed m=I mode wave propagation by measuring θ component of the induced B-field. Plasma density was measured by Langmuir probe. It was 2.4 X 10^(10)cm^(-3) ~ 2.25 X 10^(11)cm^(-3)? By comparing a wavenumber which is calculated from the measured density and external B-field to a wavenumber measured by the magnetic probe, the helicon wave propagation has been confirmed.
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