KCI등재
SCOPUS
졸-겔 법으로 합성된 ZnCdO 박막의 카드뮴 몰분율에 따른 특성 연구 = Study on the Characteristics of ZnCdO Thin Films with Varying Cd Mole Fraction Synthesized by the Sol-Gel Method
본 연구에서는 유리 기판 위에 Zn1−xCdxO 박막을 졸-겔 스핀 코팅 방법을 이용하여 전구체 용액의 Cd 몰분율을 x = 0–0.90으로 제조하여 증착하였고, 전구체의 농도와 실제 박막으로 나타난 Cd 함량의 비를 비교하며 구조적, 전기적, 광학적 특성을 분석하였다. XPS 및 XRD 분석 결과 x = 0.23까지 우르짜이트 상이 나타내며 약 66%의 반응 전환율이 관찰되었고, 0.30 ≤ x ≤ 0.60은 혼합 상으로 관찰되었으며 전환율은 x = 0.30에서는 41%, x = 0.60에서는 106%, 암염 상에서는 90%로 나타났다. Cd이 증가할수록 우르짜이트 상에서 밴드 갭 에너지는 3.27 eV에서 2.94 eV까지 감소하였다가, 혼합상에서는 3.09 eV로 약간 증가하였으며 암염상에서는 2.31 eV로 급격히 감소하였다. x ≤ 0.60에서 80% 이상의 투과율이 관찰되었고, Cd 함량에 따라 밴드갭이 감소하여 자유 전자가 증가해 비저항은 2.36 × 10−3 Ω cm까지 감소하였다.
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