旣存 半導體工場 클린룸의 環境性能 向上을 위한 事例硏究 = A Case Study for the Improvement of the Environmental Efficiency of the Clean Room of the Existing Semiconductor Factories
저자
발행기관
慶南大學校 附設 工業技術硏究所(The Research Institute of Engineering Technology Kyungnam University)
학술지명
권호사항
발행연도
2002
작성언어
Korean
KDC
530.000
자료형태
학술저널
수록면
65-78(14쪽)
제공처
본 연구는 기존 반도체 공장 클린룸의 환경성능 향상을 위한 연구로, 계속적인 제품 생산 및 시설비 절감을 위해 기존 시스템을 유지하면서 개선, 증설하는 방안을 제시하였으며, 환상덕트시스템(LOOP DUCT SYSTEM), 무취출구시스템(NONE DIFFUSER SYSTEM)을 도입하여 미려한 외관을 형성하였다. 또한 중간기 외기냉방 시스템을 적용함으로써 에너지 절감을 고려하였다. 본 연구에서 제시한 기존 반도체 공장 클린룸의 성능향상을 위한 접근방법 및 설계방법이 앞으로 기존 클린룸의 성능 개선대책 수립 시 참고자료로 활용되기를 기대한다.
In this study, some ideas for betterment and extension were proposed maintaining existing systems to save the cost of productions and equipments by studying cleanrooms of existing semiconductor factories for the improvement of the environmental efficiency. And a Loop Duct System, None Diffuser System was introduced to get a graceful appearance. The reduction of energy was also considered by applying middle outdoor cooling system.
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