혼합 Self-assembled monolayer의 마이크로/나노응착 및 마찰 특성
저자
오현진(Hyun-Jin Oh) ; 윤의성(Eui-Sung Yoon) ; 한흥구(Hung-Gu Han) ; 공호성(Hosung Kong) ; 장경영(Kyung Young Jhang)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2003
작성언어
Korean
주제어
KDC
551.905
등재정보
3903
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
56-63(8쪽)
비고
학회 요청에 의해 무료로 제공
제공처
Micro/nano adhesion and friction properties of mixed self-assembled monolayer (SAM) with different chain length for MEMS application were experimentally studied. Many kinds of SAM having different spacer chains(C6, C10 and C18) and their mixtures (1:1) were deposited onto Si-wafer, where the deposited SAM resulted in the hydrophobic nature. The adhesion and friction properties between tip and SAM surfaces under nano scale applied load were measured using an atomic force microscope (AFM) and micro scale applied load were measured using ball-on-flat type micro-tribotester. Surface roughness and water wetting angles were measured with SPM (scanning probe microscope) and contact anglemeter. Results showed that wetting angles of mixed SAMs showed the similar value of pure SAMs. The coating surface morphology was increased as mixing of SAM. Nano adhesion and nano friction decreased as increasing of the spacer chain length and mixing of SAM. Micro friction was decreased as increasing of the spacer chain, but micro friction of mixed SAM showed the value between pure SAMs. Nano adhesion and friction mechanism of mixed SAM was proposed in a view of stiffness of spacer chain modified chemically and topographically.
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