We developed a metrological atomic force microscope (MAFM) using a large range scanning dual stage and
evaluated the performance in the measurement of lateral dimension. AFMs are widely used in nanotechnology for
very high spatial resolution, but the limitation in measurement range should be overcome to expand its application
in nanometrology. Therefore, we constructed new MAFM having a large measurement of 200 mm × 200 mm by
using a dual stage and an AFM head module. The dual stage is composed of a coarse and a fine stage to obtain
large scanning range and high resolution simultaneously. Precision surfaces and PTFE sliding pads guide the
motion of coarse stage, drove by a fine pitch screw and DC motors. Flexure hinges and PZT actuators are utilized
for the fine stage. Multi-axis interferometers measure the five degrees of freedom motion of the dual stage for the
position control and the compensation of parasitic angular motions. The vertical displacement of AFM tip is
measured by a built-in capacitive sensor in the AFM head module within the range of 38 μm. The performance of
the dual stage was evaluated and the expanded uncertainty (k = 2) in the measurements of 1-D displacement L was
estimated as [수식] The relative uncertainty in pitch measurement was less than
0.02 % and the improvement of accuracy was verified by comparing with other MAFM, which are mostly due to
the expansion of scan range and the compensation of angular motion. To enhance the performance, we will reduce
the vibration and examine the motion of stage in the vertical direction during a long range scan.
분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
---|---|---|---|
2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-06-23 | 학회명변경 | 영문명 : Korean Society Of Precision Engineering -> Korean Society for Precision Engineering | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2005-05-30 | 학술지명변경 | 한글명 : 한국정밀공학회 영문논문집 -> International Journal of the Korean of Precision Engineering | KCI후보 |
2005-05-30 | 학술지명변경 | 한글명 : International Journal of the Korean of Precision Engineering -> International Journal of Precision Engineering and Manufacturing외국어명 : International Journal of the Korean of Precision Engineering -> International Journal of Precision Engineering and Manufacturing | KCI후보 |
2005-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2003-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 1.38 | 0.71 | 1.08 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.92 | 0.85 | 0.583 | 0.11 |
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