공정 경로 중복 현상이 존재하는 다단계-다중설비 제조 공정의 결함 의심 설비 선별 방법 개발
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2022
작성언어
-주제어
자료형태
학술저널
수록면
85-85(1쪽)
제공처
다단계-다중설비 제조 공정은 공정 단계마다 다수의 설비가 병렬적으로 배치된 다단계 제조 공정이다. 각 공정 단계에 배치된 다수의 설비의 성능은 상이하며, 특히 요구된 기능을 수행하지 못하는 결함 설비는 불량 제품 생산의 원인이 된다. 따라서 결함 설비를 신속하게 탐지하여 문제의 원인을 제거하는 것은 제품 품질 향상을 위해 중요한 과업이다. 결함 설비는 설비의 진단을 통해 확인할 수 있으나 공정 단계와 설비의 수가 증가하면서 진단이 필요한 설비를 선별하는 과정이 복잡해졌다. 제조 과정에서 수집되는 공정 데이터를 분석하여 결함이 의심되는 진단 대상 설비를 선별하는 방법이 개발되어왔다. 그러나 선별된 결함 의심 설비 중 실제로는 결함이 없는 오탐 설비가 존재할 수 있으며, 우선순위규칙, 배치 공정 등으로 제품들의 공정 경로가 중복되는 환경에서 오탐 설비의 수는 증가한다. 오탐 설비의 진단은 불필요한 진단 비용을 발생시키고 결함 설비의 진단을 지연시키는 비효율을 야기한다. 본 연구는 선별된 결함 의심 설비의 의심도와 작업을 수행한 제품 집합의 유사도를 분석하여 오탐 설비로 추정되는 설비의 진단 우선순위를 하락시키는 방법을 개발한다. 중복 규칙 제거 방법을 통해 오탐 설비로 추정되는 설비를 탐색하고, 오탐설비로 추정되는 수준에 따라 진단 우선순위를 재정렬한다. 가상의 다단계-다중설비 제조 공정과 실제 반도체 제조 공정 과정으로의 사례연구를 통해 제안 방법의 성능을 검증하였다. 본 방법은 오탐 설비의 진단 횟수를 감소하여 결함 설비 진단 과정의 효율성을 증대할 것으로 기대된다.
더보기서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)