자기저항 센서를 이용한 저자장 계측용 자력계를 제작하기 위하여 니켈·코발트(0.7Ni-0.3Co)합금을 유리기판에 600Å 두께로 진공증착한 후 박막을 bridge 구조의 격자 무늬로 사진 식각하는 과정에서 4개의 birdge arm을 주축과 45°의 각도를 유지하도록 배열하고 격자무늬의 면적율을 늘여서 자기저항 센서를 제작한 다음 센서에 유기된 자기저항 신호를 자속밀도로 변환시킬 수 있는 자력계를 제작하였다.
제작된 센서는 인가자장 범위 ±5×10 exp (-4)T에서 직선성이 양호하였으며 분해능은-132㏈이였고, 백색잡음은 -142㏈이었다. 그리고 주파수 대역폭은 -3㏈ point에서 445㎐이었으며 온도계수는 2.33㎵/℃이었다.
완성된 자력계의 민감도는 0.1μT 이었고 측정범위는 1μT∼1.999mT이었다. 그리고 analog 출력단자의 임피던스는 60ohm로 하였고 digital 출력은 3·1/2 LED로 가시화 시켰다.
To manufacture low-field magnetometer using magnetoresistive(MR) sensors, we deposited thin layers 600Å of thickness Ni-Co(0.7Ni∼0.3Co) alloy on slide glasses. In the layers, we ordered 4 arms of the bridge sensors in the shape of grid structure be inclined at an angle of 45° to main axis and made increase the areal rate to 67% so that be manufactured as magnetometer that can transform the induced magnetoresistive signal to magnetic flux density after production of the MR sensors using the photolithographic process.
While the response characteristic of the fabricated sensors had good linearity in the magnetic field of ±5×10 exp (-4)T ranges, the white noise was -142㏈ and the resolution -132㏈. The frequency band width was 445㎐ when the response amplitude ratio was -3㏈ point and temperature coefficient of the sensors was 2.33㎵/℃.
The sensitivity of the accomplished magnetometer was 0.1μT, and measurement range was between 1μT and 1.999mT. We made the impedance of the analog output terminal in the magnetometer be 60ohm and also digital display was 3·1/2 LED.
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