KCI등재
이온 보조 증착에 의해 제작된 MgF₂ - TiO₂ 혼합 박막의 광학적, 구조적 특성 분석
저자
성창민(Chang Min Sung) ; 반승일(Seung Il Ban) ; 김형근(Hyeong Geun Kim) ; 김석원(Sok Won Kim) ; 한성홍(Sung Hong Hahn)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1997
작성언어
Korean
KDC
425
등재정보
KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
382-386(5쪽)
제공처
소장기관
MgF₂와 TiO₂를 각각 다른 두 증발원으로부터 동시에 증착시켜 혼합 박막을 제작하였다. 박막의 특성을 개선시키기 위해 이온 보조 증착(IAD)을 하였다. 제작된 MgF₂-TiO₂ 혼합 박막의 원소 조성비, 광학적 특성과 결정 구조를 분석하였다. 상대적 증착률을 달리하여 제작된 MgF₂-TiO₂ 혼합 박막의 Mg:Ti의 조성비는 비선형적으로 변화하였으며 MgF₂의 조성비를 상대적으로 증가시킴에 따라 혼합 박막의 굴절률은 감소하였고 Drude 모델을 잘 만족함을 알 수 있었다. 그리고 MgF₂의 조성비가 증가할수록 비정질인 TiO₂ 구조 사이에 다결정질인 MgF₂의 양이 증가하여 결정성을 갖는 박막으로 성장함을 확인하였다.
더보기The composite MgF₂-TiO₂ films are fabricated by codepositon from two independent sources. To improve optical and mechanical properties of films, the films are prepared by ion-assisted deposition. Chemical compositions, optical properties and microstructures of the composite films were investigated. The chemical composition rates of Ti:Mg of MgF₂-TiO₂ composite films are nonlinearly varied according to the relative deposition rate. It is found that the refractive indices of the composite films decrease with increasing MgF₂ contents and can be fitted quite well with Drude's formula and that the microstructures of the composite films changes from an amorphous to crystalline with increasing MgF₂ mole fractions.
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