PLA법에 의한 각종의 Si 미립자 제작과 특성분석 = Annalysis and fabrication of various Si particles by Pulsed Laser Ablation
저자
김민성 (동명정보대학교 정보통신공학과)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2002
작성언어
Korean
KDC
028.000
자료형태
학술저널
수록면
51-56(6쪽)
제공처
We study the feasibility of synthesizing Si particles using PLA method. In the previous studies, it was possible to control the size of Si nanoparticles by the He gas pressure. In this study, we fabricated sub-micron size Si particles with various shapes such as conical, hexagonal, and ring by controlling not only the ambient gas pressure but also the laser energy density. Furthermore, we found that the conical Si particles were uniform-sized and had step shape when observed from FE-SEM and AFM. The conical Si particles has the same crystal structure as the bulk single crystalline Si by the analysis of the Raman scattering.
It is shown that the relationship between the laser energy density and the He gas pressure inside the chamber affects the shape of the Si particles.
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