SCOPUS
KCI등재
SnO2/Al2O3/Nb2O5 후막소자의 Acetonitrile 감지특성 = Acetonitrile Sensing Characteristics of SnO2 / Al2O3 / Nb2O5 Gas Sensors
저자
손종락 (경북대학교 공과대학 공업화학과) ; 조성국 (경북대학교 공과대학 공업화학과) ; 이덕동 (경북대학교 공과대학 전자공학과) ; 박효덕 (경북대학교 공과대학 전자공학과)
발행기관
학술지명
Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK) (Korean Chemical Engineering Research)
권호사항
발행연도
1993
작성언어
Korean
KDC
570
등재정보
SCOPUS,KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
715-722(8쪽)
제공처
소장기관
SnO₂의 모 물질에 Al₂O₃ 및 Nb₂O_5(0.2-2.0 wt%)를 첨가한 후막소자를 스크린 프린팅 방법으로 제소하였다 제조된 소자의 acetonitrile 기체에 대한 감지특성은 산화물표면과 acetonitrile 사이의 산화반응에 의하여 생성된 화학종에 의하여 영향을 받았다. 적외선 스펙트라로부터 관찰한 결과 acetonitrile의 산화반응에 의한 생성물은 주로 CO₂, NH₃ 및 H₂O였으며 이들 화학종은 후막소자의 감지성질에 영향을 주었다. Nb₂O_5가 첨가된 SnO₂후막소자는 300℃의 동작온도에서 94%의 높은 감도를 나타내었으며 CO, SO₂, CH₄ 및 C₄H_(10) 보다 acetonitrile에 대한 선택성이 높게 나타났다. 그리고 acetonitril 85 ppm 농도에 대하며 300℃의 동작온도에서 30일 동안 저항과 감도를 측정하여 본 결과 84%의 감도와 25±2 kΩ의 안정한 저항값을 나타내었다.
The SnO₂/Al₂O₃/Nb₂O_5 thick film sensor was fabricated by means of screen printing method. The sensing characteristics of acetonitrile was influenced by the chemical species produced by the oxidation reaction of acetonitrile on the surface of metal oxide. From the result of observed infrared spectra, the products formed by the oxidation reaction of acetonitrile were found to be mainly CO₂, NH₃ and H₂O, which influenced the sensing properties. The SnO₂ sensor added with Nb₂O_5 exhibited the sensitivity of 94% at the operation temperature of 300℃ and showed higher selectivity to acetonitrile than to CO, SO₂, CH₄ and C₄H_(10). The thick film sensor which maintained for 30 days at the operation temperature 300℃ exhibited the resistance of 25±2 kΩ and sensitivity of 84% in 85 ppm of acetonitrile.
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