SCOPUS
KCI등재
가속기 노광을 이용한 PMMA 현상에 관한 연구 = Studies on Development of PMMA Using Synchrotron Exposure
저자
김진태 ( Jin Tae Kim ) ; 김병철 ( Byeong Cheol Kim ) ; 정명영 ( Myung Yung Jeong )
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2003
작성언어
-주제어
KDC
500
등재정보
SCOPUS,KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
160-164(5쪽)
KCI 피인용횟수
0
제공처
소장기관
LIGA 공정에서 널리 사용되는 PMMA는 Synchrotron에서 방사되는 X-ray의 스펙트럼과 조사량에 따라 동일한 현상액에서 상이한 현상율을 나타내며, 이는 미세구조물의 공차와 표면상태를 결정짓는 중요 변수로 작용하고 있다. 따라서 PMMA에 조사되는 X-ray의 스펙트럼과 조사량의 관계 및 X-ray 조사량에 따른 PMMA 현상율의 변화 등에 대한 정확한 이해가 필요하다. 본 연구에서는 Synchrotron에서 방사되는 X-ray의 스펙트럼 분포 변화와 노광 시간에 따라 상이한 표면조사량과 바닥조사량을 갖는 PMMA 시료의 현상율을 GG 현상액을 이용하여 측정하였다. 표면 조사량에 따른 PMMA의 현상율은 일정 조사량에서 수렴되는 지수함수로 표현이 가능하였고, PMMA의 현상을 위해서는 노광되는 X-ray 스펙트럼 분포와 상관없이 2kJ/cm_3 이상의 표면조사량이 필요하며, 수백 미크론 크기의 미세구조물 성형을 위해서는 5~6kJ/cm^3의 바닥조사량이 최적임을 확인하였다.
더보기Development rates of polymethylmethacrylate(PMMA) are significantly influenced by parameters such as x-ray spectrum radiated from synchrotron and irradiated dose. Tolerance and surface quality of the micro-size structures of the irradiated PMMA are affected by the parameters of LIGA process. In this study, x-ray spectrum radiated from the synchrotron source was modified by Al film, and then the doses were deposited on the top and bottom of the PMMA sample sheet prior to measurement. Experimental development rates by GG developer for the treated PMMA sample showed a power-law relationship with doses. A proper micro-size structure fabrication required a dose between 2 kJ/cm^3 and 6 kJ/cm^3.
더보기분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2013-12-01 | 평가 | SCOPUS 등재 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2010-02-19 | 학술지명변경 | 외국어명 : Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry -> Applied Chemistry for Engineering | KCI등재 |
2009-04-28 | 학술지명변경 | 외국어명 : Jpurnal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry -> Journal of the Korean Industrial and Engineering Chemistry | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2002-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.32 | 0.32 | 0.34 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.33 | 0.33 | 0.45 | 0.05 |
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