PECVD로 제작한 수소화된 비정질 탄소(a-C:H) 박막의 화학결합 구조에 관한 연구 = Study on the chemical bonding structure of hydrogenated amorphous carbon(a-C:H) film prepared by PECVD
Hydrogenated amorphous carbon(a-C:H) films were prepared by PECVD(Plasma enhanced-chemical vapor deposition) method. The films were characterized using various spectroscopic measurements such as Raman scattering, FTIR(Fourier transform infrared) absorption spectroscopy. FRIR absorption reflects only the optically active hydrogen in the a-C:H and, using it together with Raman spectroscopy. The spectral analysis indicated that changes in Raman spectroscopy intensity occurring with increasing substrate temperature 50℃~300℃ were determined to be caused by changes in optically resonant components in the films. Furthermore, a significant correlation was the two crystalline forms of carbon-graphite and -diamond consist of sp² and sp³ bonds, respectively. Significant changes in chemical bonding(sp²/sp³) and micro-structure of hydrogenated amorphous carbon thin films occur as the substrate temperature varies from 50 to 300℃ during.
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