자동차용 실리콘 가속도센서의 개발 = Development of Silicon Acceleration Sensor for Car Applications
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1993
작성언어
Korean
KDC
500.000
자료형태
학술저널
수록면
99-119(21쪽)
제공처
소장기관
자동차의 air-bag 장치에 실용될 수 있는 압저항형 단결정 실리큰 가속도센서 칩을 개발하기 위하여 단위공정을 확립하고, 일괄공정에 의한 proto-type chip을 만드는 기술을 목표로 한다. 이를 위하여 다공질 실리콘 식각법을 이용한 실리콘 마이크로머시닝기술을 확립하고, Pb/Sn metal paste를 이용하여 dispensing 또는 screen printing법으로 가속도센서의 seismic proof mass를 정량적으로 올리는 방법을 연구하였다. 그리고 Super SAP FEM을 이용하여 실리콘 미세구조의 기계적 성질을 simulation할 수 있는 전용 simulator를 개발 완성하고 50G용 가속도센서를 설계하였다. 설계된 가속도 센서의 mass pad 반경 및 빔 길이, 빔 폭, 빔 두께, 그리고 mass의 각 파라미터 값은 500㎛, 500㎛, 12㎛, 8㎛, 1.4㎎ 이었다. 마지막으로 50G용 8빔형 가속도 센서를 제조하고 그 특성을 조사하였다. (111) 기판으로 제조된 센서의 가속도에 따른 출력전압은 선형성을 나타내고 있으며, 감도는 약 50 ㎶/V·g로 나타났다.
We keep our purpose on the establishment of the unit-process to develope a piezoresistive type silicon acceleration sensor chip for car air-bag system, and the technique to make a prototype chip by a batch-process. For this purpose, we established a silicon micromachining technique using the porous silicon etching method, and studied a method that is to load quantatively a seismic proof mass for an acceleration sensor using Pb/Sn metal paste by dispensing or screen printing method. And we have developed of a simulator that is for the exclusive use. This simulator can simulate the mechanical characteristics of a silicon microstructure using SuperSAP that is programmed by FEM. We also designed an acceleration sensor for 50G. The determined parameter values of beam length, beam width, beam thickness, mass, and mass radius are 500㎛, 120㎛, 8㎛, 1.4㎎, and 500㎛, respectively. Finally we fabricated a 8-beam acceleration sensor fabricated with (111)-Si substrate represented a linearity with acceleration, and sensitivity of the sensor was about 50㎶/V.g.
서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)