SPIT형 필터 제작 및 분석 = The fabrication and analysis of the SFIT type filter

국문 초록 (Abstract)

경사진 빗살무늬 변환기 필터를 제작하기 위하여 Langasite 기판위에 두 가지 형태의 빗살무늬 변환기를 형성시켰으며, 전극재료로는 Al-Cu를 사용하였다. 모의실험을 바탕으로 입력단에는 IDT를 직렬형태로 연결시킨 block 형태로 하중을 가하는 전극 방법을 쓰고 출력단은 withdrawal 형태로 하중을 가하는 방법을 써서 제작하였다. 이를 바탕으로 경사진 빗살무늬 변환기 필터 전극 설계 방식에 대한 적절한 위상조건도 얻고자 시도하였다. Langasite 기판위에 형성시킨 입출력 빗살무늬 변환기 전극수는 50쌍, 두께는 $5000\;{\AA}$으로 하였으며, 반사기 폭은 $3.6{\mu}m$으로 하였다. 첫 번째 시료에서 hot전극과 반사기사이의 거리는 $2.4{\mu}m$이고, 접지 전극과 반사기사이의 거리는 $1.8{\mu}m$이며, hot전극에서부터 접지전극까지 간격은 $1.5{\mu}m$로 제작하였다. 두 번째 시료는 hot전극과 반사기사이의 거리 및 접지 전극과 반사가사이의 거리를 $2.4{\mu}m$로 동일하게 제작하였다. 제작한 필터의 주파수 특성은 중심주파수가 대략 190MHz정도, 대역폭은 7.3MHz이하로 측정되었으며, matching 후 return loss는 -20dB 이하이고, 리플 특성은 3dB정도이며, 반사에 의한 잔향은 -22dB 이하로 측정되었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

We have studied to obtain the slanted finger interdigital(SFIT) type filter was formed on the Langasite substrate and was evaporated two IDT electrode by Aluminum-Copper alloy respectively. We can fabricate that the block weighted type IDT as an input transducer of the filter and the withdrawal weighted type IDT as an output transducer of the filter from the results of our computer-simulation. Also, we have performed to obtain the properly design conditions about phase shift conditions of the SPIT type filter. We have employed that the number of pairs of the input and output IDT are 50 pairs and the thickness and the width of reflectors are $5000\;{\AA}$ and $3.6{\mu}m$ respectively. At the first sample, we have employed that the distance from the hot electrode to the reflectors is $2.4{\mu}m$ distance from the ground electrode to the reflectors is $1.8{\mu}m$ and the distance from the hot electrode to the ground is $1.5{\mu}m$ respectively. At the other sample, we have also employed that the distance from the hot electrode to the reflectors and the distance from the ground electrode to the reflectors are $2.4{\mu}m$. Frequency response of the fabricated SAW filter has the property that the center frequency is about 190MHz and bandwidth at the 3dB is probably 7.3 MHz. And we could obtain that return is less than -20dB, ripple characteristics is probably 3dB and triple transit echo(TTE) is less than -22dB after when we have matched impedance.