KCI우수등재
SCOPUS
이온선 혼합에 의한 Al / Pd계의 상형성 및 전이에 관한 열역학적 연구
저자
최정동(Jeong Dong Choi) ; 홍진석(Jin Seok Hong) ; 곽준섭(Joon Seop Kwak) ; 지응준(Eung Joon Chi) ; 박상욱(Sang Wook Park) ; 백홍구(Hong Koo Baik) ; 채근화(Keun Hwa Chae) ; 정성문(Sung Mun Jung) ; 황정남(Chung Nam Whang)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1993
작성언어
Korean
등재정보
KCI우수등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
209-219(11쪽)
제공처
Al/Pd 계에서 이온선 혼합에 의한 초기 상형성 및 상전이를 연구하기 위하여 Al(500 Å)/Pd (200 Å)/glass 이중박막을 제작하여 여러가지 이온선량으로 80 keV의 에너지를 가진 Ar^+을 주입시켰다. RBS, TEM 등을 이용하여 이온선에 의한 혼합양상 및 상분석을 행하였다. 상온에서 이온선 혼합법에 의해 초기에 형성된 Al₃Pd₂는 이온선량이 증가함에 따라 Al₃Pd₂ 뿐만 아니라 AlPd상이 형성됨을 알 수 있었다. 유효생성열 (ΔH') 개념을 이온선 혼합에 의한 상형성 및 전이에 도입하여 초기 Al₃Pd₂ 형성 및 AlPd상으로서 상전이를 예측하였으며, 이러한 예측은 실험결과와 매우 일치함을 알 수 있었다. 금속/금속계 뿐만 아니라 금속/실리콘계에 대해서 이온선 혼합에 의한 초기 상형성 및 상전이에 관한 연구 및 실험이 현재 진행 중에 있다.
더보기Evaporated Al/Pd thin films were irradiated with various doses to produce intermetallic compounds. In order to study the first phase formation and phase sequence, RBS and TEM studies have been used. It was found that the initial phase formed by irradiation of 5×10^(15)Ar^+/㎠ was Al₃Pd₂, while 1.5×10^(16)Ar+/㎠ gave the subsequent phase of AlPd. This phenomenon was analysed using effective heat of formation (ΔH') model. The experimental results agree with that predicted by effective heat of formation model. This model has been extended to predict the first phase formation and phase sequence by ion beam mixing in metal/Si systems as well as metal/metal systems.
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