KCI등재
Structural, electrical and optical properties of Al-doped ZnO thin films by pulsed DC magnetron sputtering
저자
Ko, Hyung-Duk ; Lee, Choong-Sun ; Kim, Ki-Chul ; Lee, Jae-Seok ; Tai, Weon-Pil ; Suh, Su-Jeong ; Kim, Young-Sung
발행기관
학술지명
한국결정성장학회지(Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology )
권호사항
발행연도
2004
작성언어
English
주제어
등재정보
KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
145-150(6쪽)
제공처
We have investigated the structural, electrical and optical properties of Al-doped ZnO (AZO) thin films grown on glass substrate by pulsed DC magnetron sputtering as functions of pulse frequency and substrate temperature. A highly c-axis oriented AZO thin film is grown in perpendicular to the substrate when pulse frequency of 30 kHz and substrate temperature of $400^{\circ}C$ was applied. Under this optimized growth condition, the resistivity of AZO thin films exhibited $7.40\times 10^{-4}\Omega \textrm{cm}$. This indicated that the decrease of film resistivity resulted from the improvement of film crystallinity. The optical transmittance spectra of the films showed a very high transmittance of 85∼90 % in the visible wavelength region and exhibited the absorption edge of about 350 nm. The results show the potential application for transparent conductivity oxide (TCO) thin films.
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